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    下載去除器件上的堿性溶液的方法及設備的技術資料

    文檔序號:8386032

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    本發明提供一種在濕制程中利用風刀去除器件上的堿性溶液的方法。所述方法包括在將壓縮空氣送入風刀之前,處理所述壓縮空氣使其到達預設溫度,其中所述風刀向器件排出空氣以有效去除器件上的堿性溶液。本發明還提供相應的設備。根據本發明,風刀可以在更長的時...
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