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本發明提供成膜裝置，包括：旋轉臺，其設于真空容器內，在其上表面上沿周向具有用于載置基板的多個基板載置區域，并且用于使該基板載置區域旋轉；氣體噴嘴，其以從基板載置區域的內緣延伸到外緣的方式設置，沿其長度方向形成有用于噴出氣體的氣體噴出口；排氣...
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