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本發明提供鹽、光致抗蝕劑組合物和用于制備光致抗蝕劑圖案的方法。所述光致抗蝕劑組合物包含由式(I)表示的鹽和樹脂，其中Q1和Q2各自獨立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R1、R2和R3各自獨立地表示氫原子或C1-C10一價脂族飽和烴基，X1...
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