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本發(fā)明提供一種納米級球形硅粉的生產(chǎn)方法，它在依次連通的高溫蒸發(fā)器、粒子控制器及收集器組成的反應(yīng)系統(tǒng)中進(jìn)行，包括以下操作步驟：將純度≥99.9%的硅塊加入到高溫蒸發(fā)器中，對反應(yīng)系統(tǒng)抽真空，充入氬氣，使反應(yīng)系統(tǒng)內(nèi)部壓力為75～150kPa；開啟...該專利屬于寧波廣博納米新材料股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過寧波廣博納米新材料股份有限公司授權(quán)不得商用。