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本發(fā)明公開(kāi)了一種用于微光機(jī)電系統(tǒng)真空封裝的管殼及其制作方法，底座內(nèi)有芯片固定槽，封帽密封固連于底座一端外側(cè)的環(huán)狀外擴(kuò)止擋，濾光片密封覆蓋于底座另一端的開(kāi)口外側(cè)，透光片密封固定覆蓋于封帽軸向端面的透光窗口外側(cè)，吸氣劑固定裝置固設(shè)于封帽和底座內(nèi)...該專利屬于昆山光微電子有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)昆山光微電子有限公司授權(quán)不得商用。