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本實用新型提供一種晶圓盒組件，至少包括晶圓盒、分別位于該晶圓盒相對兩個內側壁的晶舟盒和位于晶圓盒下部的晶圓支架，該晶圓支架至少包括呈縱向分布的兩個側翼部以及連接于所述兩個側翼部之間的分隔部，該分隔部包括若干橫向平行排列的通槽。本實用新型的晶...該專利屬于中芯國際集成電路制造（北京）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（北京）有限公司授權不得商用。
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本實用新型提供一種晶圓盒組件，至少包括晶圓盒、分別位于該晶圓盒相對兩個內側壁的晶舟盒和位于晶圓盒下部的晶圓支架，該晶圓支架至少包括呈縱向分布的兩個側翼部以及連接于所述兩個側翼部之間的分隔部，該分隔部包括若干橫向平行排列的通槽。本實用新型的晶...