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本發(fā)明涉及使用一種或多種液態(tài)原材料涂覆基板（15）的設(shè)備和方法，包括：至少一個霧化器（2），用于將一種或多種液態(tài)原材料霧化成微滴（3）；充電部件（4；32），用于在霧化期間或霧化之后對微滴（3）電性充電；以及沉積腔室（16），在所述沉積腔室...該專利屬于BENEQ有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過BENEQ有限公司授權(quán)不得商用。