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本發明涉及一種使用粉漿澆注制備AZO靶材的方法，該方法首先將AZO共沉淀粉體或者氧化鋅和氧化鋁的混合粉體與去離子水、分散劑、粘結劑進行球磨混合，注入模具內成型，干燥，脫脂，燒結后加工成所需尺寸的AZO靶材成品。本發明所制備的AZO靶材致密度...該專利屬于國家鉭鈮特種金屬材料工程技術研究中心所有，僅供學習研究參考，未經過國家鉭鈮特種金屬材料工程技術研究中心授權不得商用。
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