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    下載XYθ精密對位平臺的技術資料

    文檔序號:8353058

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    本實用新型涉及一種XYθ精密對位平臺,包括:一XY軸移動平臺,包括:一X軸移動平臺,其底部設有至少一滑軌元件;一Y軸移動平臺,其底部設有至少一滑軌元件;所述X軸移動平臺及Y軸移動平臺為層疊組合;一θ角回動平臺,包括:一平臺;一圓弧形齒排,其...
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