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本實用新型公開了一種保護終點檢知探頭的石英視窗，所述石英視窗位于發生干法刻蝕的腔體外的腔壁中，所述石英視窗靠近腔體的一端位于腔壁中并與腔體之間留有一段間隙，石英視窗遠離腔體的一側具有一凹槽，終點檢知探頭的前端位于凹槽中。本實用新型的石英視窗...該專利屬于上海華虹NEC電子有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海華虹NEC電子有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種保護終點檢知探頭的石英視窗，所述石英視窗位于發生干法刻蝕的腔體外的腔壁中，所述石英視窗靠近腔體的一端位于腔壁中并與腔體之間留有一段間隙，石英視窗遠離腔體的一側具有一凹槽，終點檢知探頭的前端位于凹槽中。本實用新型的石英視窗...