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    下載經(jīng)涂覆之石墨物件及石墨物件之反應(yīng)性離子蝕刻制造及整修的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):8304111

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    根據(jù)本發(fā)明之一具體實(shí)例,提供一種經(jīng)涂覆之石墨物件。該物件包含:石墨,及一覆蓋該石墨之至少一部分之導(dǎo)電涂層。該導(dǎo)電涂層包含一貫穿該石墨及該導(dǎo)電涂層之厚度所量測得的小于約50歐姆之全厚度電阻。根據(jù)本發(fā)明之另一具體實(shí)例,提供一種用于制造一包含一導(dǎo)...
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