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本發明提供一種采用混合等離子體實現硅基芯片與PDMS芯片鍵合的方法，首先提供一硅基芯片與一PDMS芯片，采用丙酮和酒精對所述硅基芯片及所述PDMS芯片進行超聲清洗，然后采用氧氣及第二氣體的混合等離子體對所述硅基芯片的鍵合面及PDMS芯片的鍵...
該專利屬于中國科學院上海微系統與信息技術研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院上海微系統與信息技術研究所授權不得商用。

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