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一種非硅MEMS微通道組的制作方法，涉及電子器件生產技術領域。本發明首先用用涂膠機在圓形玻璃基片上均勻甩涂光刻膠，制得均勻膠層玻璃基板；再用準分子激光直寫法在第一步所得均勻涂膠的玻璃基片刻蝕微通道結構，得到膠層模板；再對刻蝕后的膠層微流控芯...
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