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    下載多線硅片切割工藝的技術資料

    文檔序號:8295300

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    本發明涉及一種多線硅片切割工藝,所述的工藝包括以下步驟:碳化硅微粉的選擇:選擇粒度為2000的碳化硅微粉;砂漿配置:將切削液和碳化硅微粉按照1:0.92~1:1.1的質量比進行配比,使砂漿密度到1.600~1.615;切割:使用直徑為6.5...
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