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本實用新型公開了一種研磨液供應臂定位輔助工具，用于調整研磨液供應臂的位置，所述研磨液供應臂的一端設有噴嘴，所述研磨液供應臂定位輔助工具包括參考墊，所述參考墊同心鋪設于研磨平臺上，所述參考墊與所述研磨平臺的形狀和大小相應，所述參考墊的上表面設...該專利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（上海）有限公司授權不得商用。
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