溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型公開了一種晶圓清洗刷，包括刷盤、第一旋轉軸、第一旋轉馬達以及直線馬達，第一旋轉馬達經第一旋轉軸驅動刷盤轉動，直線馬達驅動所述第一旋轉軸作直線位移，刷盤是一直徑大于或者等于晶圓的圓盤，圓盤的一個表面上設置有若干刷毛。本實用新型還公開...該專利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造（上海）有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型公開了一種晶圓清洗刷，包括刷盤、第一旋轉軸、第一旋轉馬達以及直線馬達，第一旋轉馬達經第一旋轉軸驅動刷盤轉動，直線馬達驅動所述第一旋轉軸作直線位移，刷盤是一直徑大于或者等于晶圓的圓盤，圓盤的一個表面上設置有若干刷毛。本實用新型還公開...