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一種形成至少一個微機電系統（MEMS）腔體的方法包括在下布線層之上形成第一犧牲腔體層。該方法還包括形成一層。該方法還包括在第一犧牲層之上形成第二犧牲腔體層并且該第二犧牲腔體層與該層接觸。該方法還包括在第二犧牲腔體層上形成頂蓋。該方法還包括在...
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