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一種形成微機電系統（MEMS）的方法包括在MEMS的腔體內的第一絕緣體層上形成下電極。該方法還包括在下電極的頂部上的另一絕緣材料之上形成上電極，上電極與下電極至少部分地接觸。下電極和上電極的形成包括調整下電極和上電極的金屬體積以修改梁彎曲。...
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