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本發明提供一種光掩模及曝光裝置。光掩模(9)在同一掩模基板(10)上將掩模圖案不同的多種圖案區域(11)按照其中心軸相互平行的方式排列設置，并具備：在與各所述圖案區域(11)的所述中心軸交叉的方向上，在與各中心軸偏離一定距離的位置處，分別按...
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