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本發明提供一種利用中頻反應磁控濺射在鋁合金表面沉積ZrN薄膜的方法，其特征在于：功率為5kW，本底真空6.0×10-3Pa，靶材為270×70×5mm的對稱Zr靶，工作氣體Ar氣和反應氣體N2氣的純度99.99%，濺射氣壓3.0×10-1P...
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