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本發明涉及一種金剛石光柵刻劃刀具隨動刃磨裝置，用以對金剛石光柵刻劃刀具進行刃磨，包括：氣浮導軌芯及套置于該氣浮導軌芯外的氣浮導軌套；用以抬起及放下所述氣浮導軌芯的直線電機；安裝于氣浮導軌芯上的直線電機座，所述直線電機座是用以連接氣浮導軌芯與...該專利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院長春光學精密機械與物理研究所授權不得商用。
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本發明涉及一種金剛石光柵刻劃刀具隨動刃磨裝置，用以對金剛石光柵刻劃刀具進行刃磨，包括：氣浮導軌芯及套置于該氣浮導軌芯外的氣浮導軌套；用以抬起及放下所述氣浮導軌芯的直線電機；安裝于氣浮導軌芯上的直線電機座，所述直線電機座是用以連接氣浮導軌芯與...