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一種拋光墊包括：拋光層，該拋光層具有拋光表面；粘著層；該粘著層位于拋光層的一側(cè)而與拋光表面相對；以及固態(tài)光透射窗，該固態(tài)光透射窗延伸穿透拋光層并成型于拋光層。固態(tài)光透射窗具有上方部分，該上方部分具第一橫向尺寸，固態(tài)光透射窗并具有下方部分，該...該專利屬于應用材料公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過應用材料公司授權(quán)不得商用。