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本發明實施例公開了一種浮柵閃存器件及其制備方法。該浮柵閃存器件包括襯底和在所述襯底上層疊設置的隧穿氧化層、浮柵、阻擋絕緣層、控制柵，所述襯底上設置有源漏電極區，所述隧穿氧化層位于所述襯底之上；所述浮柵位于所述隧穿氧化層之上；所述阻擋絕緣層位...
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