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本發明公開了一種掃描式磁控濺射陰極，設于真空腔體上并對真空腔體內的靶材進行磁控掃描，其中，本發明的掃描式磁控濺射陰極包括位于真空腔體外的磁性部件及驅動器，磁性部件與靶材相對應，驅動器驅使磁性部件在真空腔體外做平面的活動而對靶材進行平面的磁性...
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