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    下載陶瓷基片雙面光刻結構的技術資料

    文檔序號:8232648

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    本實用新型公開了一種陶瓷基片雙面光刻結構,該雙面光刻結構包括一支撐框架,支撐框架的上端設有上掩模板,支撐框架的下端設有下掩模板,上掩模板的上方及下掩模板的下方各設有一曝光裝置,上掩模板、下掩模板之間設有一陶瓷基片支撐架,陶瓷基片支撐架上設有...
    該專利屬于劉毅楠所有,僅供學習研究參考,未經(jīng)過劉毅楠授權不得商用。

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