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    下載一種塔器的氣體分布裝置的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):8222766

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    一種塔器的氣體分布裝置,包括由至少一組合件組成的氣體分布層,組合件包括第一環(huán)體、第二環(huán)體、第三環(huán)體和第四環(huán)體,第一環(huán)體的外壁通過第一支板、第二支板、第三支板分別與第二環(huán)體、第三環(huán)體和第四環(huán)體的外壁相連,所述第二環(huán)體的外壁通過第四支板與第三環(huán)...
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