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一種熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質(zhì)的方法,涉及多晶硅材料的提純方法。提供一種選擇性高、工藝簡單的熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質(zhì)的方法。Si-M合金陽極的制備,電解質(zhì)預處理,電解槽組裝,熔鹽電解提純多晶硅。采用真空熔煉Si-M合金,作為可溶性陽極;以...該專利屬于廈門大學所有,僅供學習研究參考,未經(jīng)過廈門大學授權不得商用。
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一種熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質(zhì)的方法,涉及多晶硅材料的提純方法。提供一種選擇性高、工藝簡單的熔鹽電解去除硅中硼和磷雜質(zhì)的方法。Si-M合金陽極的制備,電解質(zhì)預處理,電解槽組裝,熔鹽電解提純多晶硅。采用真空熔煉Si-M合金,作為可溶性陽極;以...