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本發明提供防著板支承部件及具有該防著板支承部件的離子源，能提高將防著板向等離子體生成容器安裝及將防著板從等離子體生成容器拆下時的工作效率。防著板支承部件(15)配置在等離子體處理裝置及離子束照射裝置中所使用的等離子體生成容器(4)內，具有至...
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