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本實(shí)用新型為真空鍍膜機(jī)射頻電極,解決用直流電源做保護(hù)膜的速度慢,保護(hù)膜耐腐蝕時(shí)間短,工件易發(fā)黃的問(wèn)題。真空箱體(1)為陽(yáng)極,極板(2)為陰極,陽(yáng)極和陰極與射頻電源(3)連接,極板(2)下面有冷卻水通過(guò)的冷卻水槽(3),冷卻水封板(4)的下面...該專(zhuān)利屬于愛(ài)發(fā)科東方真空(成都)有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過(guò)愛(ài)發(fā)科東方真空(成都)有限公司授權(quán)不得商用。