真空鍍膜機射頻電極制造技術

本實用新型專利技術為真空鍍膜機射頻電極，解決用直流電源做保護膜的速度慢，保護膜耐腐蝕時間短，工件易發黃的問題。真空箱體（1）為陽極，極板（2）為陰極，陽極和陰極與射頻電源（3）連接，極板（2）下面有冷卻水通過的冷卻水槽（3），冷卻水封板（4）的下面有磁極板（5），極板（2）的上面裝有防污板（6），極板（2）裝于電極安裝板（9）上，真空箱法蘭（7）與截面為L形的固定板（8）連接，固定板（8）和電極安裝板（9）之間有截面為L形的絕緣板（10），磁極板（5）安裝于支座（12）上，安裝板（13）與電極安裝板（9）連接，絕緣板（10）、固定板（8）的上端面裝有遮擋板（14）。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術與真空鍍膜機做清洗和保護膜的射頻電極有關。
技術介紹
工件(如汽車車燈反射板)在真空鍍膜機中鍍一層金屬膜,在鍍金屬膜前,可以對工件進行清洗，提高金屬膜的附著力，鍍金屬膜后，再做一層保護膜，可以防止金屬膜被腐蝕。低氣壓下，充入特定氣體，在兩組電極間施加一定電壓，氣體被電離，產生的化合物附著在基片上形成保護膜。目前，所用電源為直流電源。用直流電源做保護膜的速度慢，做的保護膜耐腐蝕時間短工件易發黃。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種形成保護膜速度快，保護膜耐腐蝕，操作方便的真空鍍膜機射頻電極。本技術是這樣實現的本技術真空鍍膜機射頻電極，真空箱體I為陽極，極板2為陰極，陽極和陰極與射頻電源11連接，極板2下面有冷卻水通過的冷卻水槽3，冷卻水封板4封閉冷卻水槽3，冷卻水封板4的下面有磁極板5，極板2的上面裝有防污板6，極板2裝于截面為L形的電極安裝板9上，真空箱法蘭7與截面為L形的固定板8連接，固定板8和電極安裝板9之間有截面為L形的絕緣板10，磁極板5安裝于支座12上，安裝板13與電極安裝板9連接，絕緣板10、固定板8的上端面裝有遮擋板14。固定板8，由兩板組成，兩板用螺栓固定連接，電極安裝板9由兩板用螺栓連接構成，極板2用螺栓固定在電極安裝板9上，絕緣板10由兩平板構成，其中的水平平板通過螺栓與電極安裝板9連接，豎向平板被安裝于固定板8和電極安裝板9之間，冷卻水封板4與極板2用螺栓連接，冷卻水從極板的軸向兩端進出。本技術結構簡單，安裝和維護方便，操作方便，使用安全，形成保護膜快，工件耐腐蝕，工作效率高，工作質量好。附圖說明圖I為本實用新結構圖。圖2為極板裝配圖。具體實施方式固定板8由兩板組成，兩板，用螺栓連接固定，真空箱體I為射頻電源的陽極。極板2、電極安裝板9通過螺栓連接成一個整體，為射頻電源的陰極。為了防止陽極和陰極導通，在其之間安裝絕緣板10，絕緣板的水平板通過螺栓連接固定在電極安裝板9之間，絕緣板的豎向板安裝在固定板8與電極安裝板9上，通過固定板進行限位。遮擋板14用螺栓安裝在固定板8上，防止固定板與絕緣板鍍上金屬膜，導致兩極間短路。防污板6用螺栓固定在極板2上，防止極板鍍上金屬膜。極板下方有冷卻水槽3，并安裝上冷卻水封板4，用螺栓固定，形成封閉的冷卻水槽，冷卻水從極板的兩端進出。極板下方有磁極，通過支座12和安裝板13固定在電極板安裝板9上。磁極與極板要保持適當的距離，使極板表面的磁場達到要求。極板2采用大平板結構，增大氣體電離面積，極板2下方有磁極板5，可以使極板附近的氣體電離更充分，提高做保護膜的速度和工件耐腐蝕時間，并不需要并且不需完成一 個工作節拍就更換鋁箔(用直流電源需要一個工作節拍就更換一次鋁箔)。只需要每個工作日簡單對防污板進行2 3次除塵，操作使用過程更加簡單。權利要求1.真空鍍膜機射頻電極，其特征在于真空箱體(I)為陽極，極板(2)為陰極，陽極和陰極與射頻電源(11)連接，極板(2)下面有冷卻水通過的冷卻水槽(3)，冷卻水封板(4)封閉冷卻水槽(3)，冷卻水封板(4)的下面有磁極板(5)，極板(2)的上面裝有防污板(6)，極板(2)裝于截面為L形的電極安裝板(9)上，真空箱法蘭(7)截面為L形的固定板(8)連接，固定板(8)和電極安裝板(9)之間有截面為L形的絕緣板(10)，磁極板(5)安裝于支座(12)上，安裝板(13)與電極安裝板(9)連接，絕緣板(10)、固定板(8)的上端面裝有遮擋板(14)。2.根據權利要求I所述的真空鍍膜機射頻電極，其特征在于固定板(8)由兩板組成，兩板用螺栓固定連接，電極安裝板(9)由兩板用螺栓連接構成，極板(2)用螺栓固定在電極安裝板(9)上，絕緣板(10)由兩平板構成，其中的水平平板通過螺栓與電極安裝板(9)連接，豎直平板被限位于固定板(8 )和電極安裝板(9 )之間，冷卻水封板(4)與極板(2 )用螺栓連接，冷卻水從極板的軸向兩端進出。專利摘要本技術為真空鍍膜機射頻電極，解決用直流電源做保護膜的速度慢，保護膜耐腐蝕時間短，工件易發黃的問題。真空箱體(1)為陽極，極板(2)為陰極，陽極和陰極與射頻電源(3)連接，極板(2)下面有冷卻水通過的冷卻水槽(3)，冷卻水封板(4)的下面有磁極板(5)，極板(2)的上面裝有防污板(6)，極板(2)裝于電極安裝板(9)上，真空箱法蘭(7)與截面為L形的固定板(8)連接，固定板(8)和電極安裝板(9)之間有截面為L形的絕緣板(10)，磁極板(5)安裝于支座(12)上，安裝板(13)與電極安裝板(9)連接，絕緣板(10)、固定板(8)的上端面裝有遮擋板(14)。文檔編號C23C16/505GK202643841SQ20122030695公開日2013年1月2日 申請日期2012年6月28日 優先權日2012年6月28日專利技術者張果, 王偉, 姜玉倫, 段曉英, 何林 申請人:愛發科東方真空(成都)有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
真空鍍膜機射頻電極，其特征在于真空箱體（1）為陽極，極板（2）為陰極，陽極和陰極與射頻電源（11）連接，極板（2）下面有冷卻水通過的冷卻水槽（3），冷卻水封板（4）封閉冷卻水槽（3），冷卻水封板（4）的下面有磁極板（5），極板（2）的上面裝有防污板（6），極板（2）裝于截面為L形的電極安裝板（9）上，真空箱法蘭（7）截面為L形的固定板（8）連接，固定板（8）和電極安裝板（9）之間有截面為L形的絕緣板（10），磁極板（5）安裝于支座（12）上，安裝板（13）與電極安裝板（9）連接，絕緣板（10）、固定板（8）的上端面裝有遮擋板（14）。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：張果，王偉，姜玉倫，段曉英，何林，
申請(專利權)人：愛發科東方真空成都有限公司，
類型：實用新型
國別省市：