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本實(shí)用新型涉及一種自動補(bǔ)償懸浮刮板成膜裝置，包括懸浮刮板、支架、反應(yīng)釜筒體、軸套等。反應(yīng)釜筒體內(nèi)通固定在轉(zhuǎn)軸上的軸套和支架連接懸浮刮板，當(dāng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時(shí)，懸浮刮板緊貼反應(yīng)釜筒體內(nèi)壁。懸浮刮板上面開有三條用于導(dǎo)向定位的斜槽，斜槽的斜度為15～60...該專利屬于徐效奇;趙慶港所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過徐效奇;趙慶港授權(quán)不得商用。