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本發明涉及一種氟氣生成裝置，其具備：與電解槽的第1氣室連接、用于將氟氣供給到外部裝置的第1主通路；將氟氣從第1氣室導出并輸送的第1輸送設備；檢測第1輸送設備的上游側的壓力的第1壓力檢測器；用于將從第1輸送設備排出的氟氣返回到第1輸送設備的吸...
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