氟氣生成裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種氟氣生成裝置，其具備：與電解槽的第1氣室連接、用于將氟氣供給到外部裝置的第1主通路；將氟氣從第1氣室導出并輸送的第1輸送設(shè)備；檢測第1輸送設(shè)備的上游側(cè)的壓力的第1壓力檢測器；用于將從第1輸送設(shè)備排出的氟氣返回到第1輸送設(shè)備的吸入側(cè)的第1壓力調(diào)節(jié)閥；控制第1壓力調(diào)節(jié)閥的開度，使得第1壓力檢測器的檢測壓力達到第1設(shè)定值的控制裝置；設(shè)置在壓力檢測器的上游側(cè)的起動閥；和檢測閥門關(guān)閉狀態(tài)下的起動閥的前后壓差的壓差檢測器，其中在氟氣生成裝置起動時，控制裝置改變設(shè)定值，使得起動閥的前后壓差處于設(shè)定范圍內(nèi)，在前后壓差處于設(shè)定范圍內(nèi)時，打開起動閥。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】

【技術(shù)保護點】

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：八尾章史，中原啟太，
申請(專利權(quán))人：中央硝子株式會社，
類型：
國別省市：