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    下載具有金屬柵極的半導體元件及其制作方法的技術資料

    文檔序號:8162548

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    本發明公開一種具有金屬柵極的半導體元件的制作方法,首先提供一表面形成有一第一晶體管與一第二晶體管的基底,且該第一晶體管內形成有一第一柵極溝槽。該第一晶體管具有一第一導電型式,該第二晶體管具有一第二導電型式,且該第一導電型式與該第二導電型式相...
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