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本發明提供一種表面處理裝置及方法，包含有傳送裝置及涌泉座。傳送裝置用以傳輸基板，且涌泉座分別與對應的傳送裝置組配形成第一積液空間，各涌泉座設置有注液口，注液口連通對應的第一積液空間，且第一積液空間可積存由注液口所注入的處理液，藉由傳送裝置所...
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