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本發(fā)明涉及一種流體供給裝置，其包括：內(nèi)部容器，用于存儲(chǔ)在制造系統(tǒng)中使用的流體；外部容器，在內(nèi)側(cè)設(shè)置有所述內(nèi)部容器；連接部，與所述外部容器結(jié)合，并設(shè)置有用于將存儲(chǔ)于所述內(nèi)部容器中的流體供給到制造系統(tǒng)的第一連接單元；所述外部容器包括通道機(jī)構(gòu)，該...該專利屬于LDS公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過LDS公司授權(quán)不得商用。