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本發(fā)明公開了一種多槽循環(huán)硅片清洗機(jī)，包括機(jī)殼、清洗槽、給水管路及排水管路，清洗槽為至少6個順次排列的槽體，依次主要由至少兩個用于純水清洗或藥水堿洗的雙功能清洗槽、至少兩個用于藥水堿洗的藥洗清洗槽及至少兩個用于純水清洗的水洗清洗槽組成，排序末...該專利屬于晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司授權(quán)不得商用。