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本發明涉及一種高性能MEMS熱電堆紅外探測器結構及其制備方法，其包括襯底；襯底上設有釋放阻擋帶，釋放阻擋帶內具有熱隔離腔體，熱隔離腔體的正上方設有黒硅紅外吸收區，黒硅紅外吸收區位于釋放阻擋帶上；黒硅紅外吸收區的外側設有若干熱電堆，黒硅紅外吸...
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