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本實用新型涉及氣相色譜儀檢測設備,尤其涉及超高純氣體中微量雜質分析的氣相色譜檢測系統,包括色譜柱箱以及信號采集處理器,尾氣處理器,色譜柱箱包括切換閥VⅠ(1)與切換閥VⅡ(2)之間設有第一分子篩色譜柱(51);切換閥VⅡ(2)與切換閥VⅣ(...該專利屬于杭州克柔姆色譜科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過杭州克柔姆色譜科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及氣相色譜儀檢測設備,尤其涉及超高純氣體中微量雜質分析的氣相色譜檢測系統,包括色譜柱箱以及信號采集處理器,尾氣處理器,色譜柱箱包括切換閥VⅠ(1)與切換閥VⅡ(2)之間設有第一分子篩色譜柱(51);切換閥VⅡ(2)與切換閥VⅣ(...