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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種緩沖套，用于放置內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋，所述緩沖套包括上蓋與底座，所述上蓋與底座分別設(shè)有與所述真空包裝袋的上部與下部相匹配的第一凹槽與第二凹槽，所述第一凹槽與所述第二凹槽的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽。本實(shí)用新型還公開(kāi)...該專(zhuān)利屬于中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司授權(quán)不得商用。