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一種EUV輻射源，包括燃料供給裝置，配置成提供燃料至等離子體形成位置。燃料供給裝置包括貯液器，配置成將燃料保持在以將燃料保持為液體狀態的足夠高的溫度條件下，和壓力容器，配置成容裝貯液器，壓力容器與貯液器至少部分地熱隔離。EUV輻射源還包括激...
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