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    下載磁盤基板用研磨液組合物的技術資料

    文檔序號:7156777

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    本發明提供一種能夠在不損害生產率的情況下減少研磨后的基板的劃痕和表面粗糙度的磁盤基板用研磨液組合物、以及使用了該研磨液組合物的磁盤基板的制造方法。本發明涉及一種磁盤基板用研磨液組合物,其含有ΔCV值為0~10%的膠體二氧化硅和水,所述ΔCV...
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