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提供一種在發(fā)生槽內(nèi)產(chǎn)生的有機(jī)化合物蒸汽不會(huì)倒流到將有機(jī)化合物向發(fā)生槽供給的內(nèi)側(cè)連接管中的技術(shù)。在具有配置有機(jī)材料的儲(chǔ)存槽（３１）、將有機(jī)材料加熱而產(chǎn)生有機(jī)材料的蒸汽的發(fā)生槽（３３）、和將儲(chǔ)存槽（３１）內(nèi)的有機(jī)材料向發(fā)生槽（３３）供給的輸送裝...該專利屬于株式會(huì)社愛發(fā)科所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過株式會(huì)社愛發(fā)科授權(quán)不得商用。