有機化合物蒸汽發生裝置及有機薄膜制造裝置制造方法及圖紙

提供一種在發生槽內產生的有機化合物蒸汽不會倒流到將有機化合物向發生槽供給的內側連接管中的技術。在具有配置有機材料的儲存槽（３１）、將有機材料加熱而產生有機材料的蒸汽的發生槽（３３）、和將儲存槽（３１）內的有機材料向發生槽（３３）供給的輸送裝置（３２）的有機薄膜制造裝置（１）中，輸送裝置（３２）設有：外側連接管（３７），將儲存槽（３１）的內部環境與發生槽（３３）的內部環境氣密地連接；氣體導入口（４２），將氣體導入到配置在外側連接管（３７）的內部中而使有機材料從儲存槽（３１）內部移動到發生槽（３３）內部的由石英構成的內側連接管（３８）的內部中。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及用于制造有機EL的蒸發源和有機EL制造裝置。
技術介紹
圖3所示的以往的蒸汽發生裝置130具有儲存槽131、輸送裝置132、和發生槽 133。在儲存槽131的內部中，鉛直地配置有漏斗形狀的漏斗容器134。漏斗容器134具有倒圓錐形狀的漏斗斜面129、和作為與漏斗形狀的中央位置的孔連接的管的管狀插入部 128。管狀插入部128向鉛直下方延伸，從比管狀插入部128的上端靠還上方的位置直到管狀插入部128的內部，鉛直地插通有計量棒135。在儲存槽131的下方配置有發生槽133，輸送裝置132配置在儲存槽131與發生槽 133之間。輸送裝置132具有外側連接管137，外側連接管137的上端安裝在儲存槽131的底面上，下端安裝在發生槽133的頂板上，儲存槽131的內部與發生槽133的內部通過外側連接管137連接。管狀插入部1 插入在外側連接管137中。對漏斗容器134供給有機材料，使有機材料從形成在計量棒135上的螺紋槽的下端向下方落下，則通過漏斗容器134的管狀插入部128內而落下到發生槽133的底面上，通過配置在發生槽133的底面上的發熱體139將有機材料加熱，產生有機材料蒸汽。該有機材料蒸汽被載體氣體向發生槽133的外部供給，所述載體氣體從連接于發生槽133的氣體導入系統141導入到發生槽133內。在以往的蒸汽發生裝置130中，存在發生槽133內產生的有機材料蒸汽倒流到管狀插入部128內的問題。專利文獻1 日本特開2006 - 307239號公報專利文獻2 日本特開2003 - 226961號公報。
技術實現思路
本專利技術是為了解決上述以往技術的不良狀況而做出的，其目的是提供一種在發生槽內產生的有機化合物蒸汽不會向將有機化合物蒸汽向發生槽供給的連接配管倒流的裝置。為了解決上述問題，本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，具有配置有機材料的儲存槽、將上述有機材料加熱而產生上述有機材料的蒸汽的發生槽、和將上述儲存槽內的上述有機材料供給到上述發生槽中的輸送裝置，其中，上述輸送裝置具有連接配管，將上述儲存槽的內部環境與上述發生槽的內部環境氣密地連接，使上述儲存槽內的上述有機材料通過而移動到上述發生槽內；氣體導入口，形成于上述連接配管，若連接于供給氣體的氣體導入系統，則將上述氣體導入到上述連接配管內。此外，本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，構成為，在上述儲存槽內，將漏斗形狀的漏斗狀容器以上述漏斗形狀的斜面朝上、連接于位于漏斗形狀的中央的孔的管狀的管狀插入部朝下的方式插入到上述連接配管，上述管狀插入部的下端位于上述連接配管內，在上述斜面上配置上述有機材料的粉體，將上述漏斗狀容器內的上述有機材料從上述管狀插入部的下端通過上述連接配管的內部而供給到上述發生槽，上述氣體導入口形成為，在上述連接配管內向上述管狀插入部與上述連接配管之間供給上述氣體，供給的上述氣體通過上述管狀插入部與上述連接配管之間的間隙而導入到上述發生槽中。本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，將在側面以螺旋狀形成有下端開放的螺紋槽的計量棒以上述螺紋槽的下端位于上述管狀插入部內的方式插通到上述漏斗狀容器中，通過上述計量棒的旋轉，使上述有機材料在上述螺紋槽內移動并落下而從上述管狀插入部供給到上述輸送裝置內。進而，本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，上述連接配管具有外側連接管和內側連接管；上述內側連接管配置在上述外側連接管的內部，下端配置在上述發生槽內， 上述管狀插入部插入在上述內側連接管內，上述管狀插入部的下端配置在上述內側連接管內。進而，本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，上述內側連接管的熱傳導率比上述外側連接管的熱傳導率低。本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，在上述外側連接管處，設有冷卻介質流通的冷卻路徑。本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，上述內側連接管的位于上述發生槽內的頂端部分形成為頂部縮窄形。本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，上述管狀插入部的下端位于上述內側連接管內，在上述管狀插入部與上述內側連接管之間形成有間隙，將上述氣體從上述氣體導入口導入到上述間隙，導入的上述氣體從上述氣體導入口朝向上述管狀插入部的下端流動。本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，各上述漏斗狀容器構成為能夠相對于上述內側連接管上下移動而從上述內側連接管內插拔，在上述儲存槽與上述輸送裝置之間， 設有能夠在將上述管狀插入部從上述內側連接管內拔除時將上述儲存槽內部與上述輸送裝置內部切斷的開閉閥。本專利技術是一種有機化合物蒸汽發生裝置，在上述儲存槽的內部設有液體供給容器，配置有上述有機化合物的液體；排出裝置，將上述液體供給容器內的上述有機化合物供給到上述輸送裝置中。此外，本專利技術是一種有機薄膜制造裝置，具有成膜槽；配置在上述成膜槽內的釋放裝置；上述有機化合物蒸汽發生裝置，上述釋放裝置的內部和上述有機化合物蒸汽發生裝置的內部經由切換上述有機化合物蒸汽的導通、切斷的連接閥而連接，從上述儲存槽通過上述輸送裝置而移動到上述發生槽中的有機材料在上述發生槽中被加熱而產生有機材料氣體，將產生的上述有機材料氣體從上述釋放裝置釋放到上述成膜槽內。進而，本專利技術是一種有機薄膜制造裝置，上述連接閥為，在上述連接閥使上述釋放裝置內部和上述發生槽內部成為切斷狀態時，將上述發生槽內部連接到使有機化合物蒸汽固著的固著裝置。根據本專利技術，有機化合物蒸汽不易侵入到向發生槽供給有機化合物的連接配管內。特別是，能夠提供一種有機薄膜制造裝置，對于內側連接管，在發生槽內產生的有機化合物蒸汽不易侵入到內側連接管內，此外即使內側連接管的下部在發生槽內被加熱，熱也不易傳導到內側連接管的上端部。附圖說明圖1是本專利技術的有機薄膜制造裝置的剖視圖。圖2是本專利技術的蒸汽發生裝置的剖視圖。圖3是以往的蒸汽發生裝置的剖視圖。標號說明1有機薄膜制造裝置5基板10成膜槽20連接閥27延長部分28管狀插入部29漏斗斜面30蒸汽發生裝置31儲存槽32輸送裝置33發生槽34漏斗容器35計量棒36間隙37外側連接管38內側連接管39發熱體41氣體導入系統42氣體導入口49噴出口50蒸汽釋放裝置51釋放口52冷卻路徑53溫度控制、循環裝置54,55真空排氣系統60冷卻阱61冷卻裝置62冷卻板。圖1的標號1是本專利技術的一例的有機薄膜制造裝置(蒸鍍裝置)。該有機薄膜制造裝置1具有成膜槽10、蒸汽發生裝置30、和蒸汽釋放裝置50。蒸汽釋放裝置50配置在成膜槽10的內部。蒸汽發生裝置30與蒸汽釋放裝置50 經由連接閥20連接，如果連接閥20成為導通狀態，則在蒸汽發生裝置30內生成的有機化合物的蒸汽被向蒸汽釋放裝置50供給。被供給到蒸汽釋放裝置50的有機化合物蒸汽從蒸汽釋放裝置50的多個釋放口 51被釋放到成為真空環境的成膜槽10內。圖2所示的蒸汽發生裝置30是本專利技術的一例，具有儲存槽31、輸送裝置32、和發生槽33。在儲存槽31的內部中，鉛直地配置有漏斗形狀的漏斗容器34。漏斗容器34具有上端的漏斗開口部分為大徑、隨著向中央靠近而一邊變為小徑一邊向下方傾斜的倒圓錐形狀的漏斗斜面四；和在作為該漏斗斜面四的下端的漏斗形狀的中央具有孔，上端連接于該孔的管的管狀插入部觀。圖1、2的標號22表示配置在該漏斗容器34內的漏斗斜面四上的有機化合物的粉體。漏斗容器34的管狀插入部本文檔來自技高網...

【技術保護點】
１．　一種有機化合物蒸汽發生裝置，具有配置有機材料的儲存槽、將上述有機材料加熱而產生上述有機材料的蒸汽的發生槽、和將上述儲存槽內的上述有機材料供給到上述發生槽中的輸送裝置，所述有機化合物蒸汽發生裝置中，上述輸送裝置具有：連接配管，將上述儲存槽的內部環境與上述發生槽的內部環境氣密地連接，使上述儲存槽內的上述有機材料通過而移動到上述發生槽內；氣體導入口，形成于上述連接配管，若與供給氣體的氣體導入系統連接則將上述氣體導入到上述連接配管內。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：根岸敏夫，
申請(專利權)人：株式會社愛發科，
類型：發明
國別省市：JP