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本實用新型公開了一種用于硅片鍍膜的承載裝置，包括石墨碳板，石墨碳板上設有至少１個承載位，所述承載位向內凹陷形成承載槽，承載槽的大小與硅片配合，承載槽的深度為０．３～０．７ｍｍ。本實用新型用于硅片鍍膜工藝，無需使用定位銷，不僅減少了定位銷這部...該專利屬于蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯（中國）投資有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯（中國）投資有限公司授權不得商用。