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本發(fā)明公開阿爾法相鎢鉬合金薄膜的制備方法，具體步驟如下：步驟1：由磁控濺射法同時(shí)在襯底上沉積W<subgt;x</subgt;Mo<subgt;1?x</subgt;合金層，其中0.2≤x≤0.8；步驟2：退火：在W...該專利屬于寧夏大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過寧夏大學(xué)授權(quán)不得商用。