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本發明公開了標記位置確定方法、光刻方法、制造物品的方法、存儲器介質和光刻裝置。確定標記位置的方法包括：基于通過使用捕獲標記的圖像的觀測儀獲取的圖像上的標記圖像的位置來確定標記圖像的臨時位置；基于指示觀測儀的畸變量的二維分布的畸變圖和標記圖像...
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