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本申請公開了一種離子注入機，涉及半導體制造技術領域，包括：機臺，對準臺上設置有感光裝置，在對準臺上設置有輔助定位裝置，輔助定位裝置包括：第一定位部；第二定位部；固定裝置，固定裝置包括對準臺上的固定孔以及用于將輔助定位裝置固定在對準臺上的固定...
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