【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制造，特別涉及一種離子注入機(jī)。
技術(shù)介紹
1、碳化硅(sic)透明片作為一種性能卓越的半導(dǎo)體材料，憑借其高耐熱性、高硬度、寬禁帶和優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性，在功率電子器件、高頻通信和新能源汽車等領(lǐng)域獲得了廣泛關(guān)注，透明片特別適用于在苛刻環(huán)境下運(yùn)行的設(shè)備，如高功率逆變器和雷達(dá)系統(tǒng)，然而，碳化硅透明片的制造工藝對(duì)精度和適配性要求極高，在半導(dǎo)體制造中，離子注入是一項(xiàng)關(guān)鍵工藝，用于調(diào)整材料的電學(xué)性能，現(xiàn)有的離子注入機(jī)設(shè)計(jì)主要針對(duì)硅片材料，其工藝流程和硬件配置通常假定工件具有易于檢測(cè)的幾何特征。
2、目前，市面上的離子注入機(jī)，如nissin?2300ah，應(yīng)用于12英寸和6英寸硅片的離子注入工藝，這類設(shè)備通過(guò)感應(yīng)工件的缺口(notch)來(lái)實(shí)現(xiàn)片材的傳送和旋轉(zhuǎn)定位，然而，透明片(如碳化硅透明片)由于其光學(xué)特性和設(shè)計(jì)特點(diǎn)，缺乏傳統(tǒng)硅片具備的可檢測(cè)缺口特征，導(dǎo)致設(shè)備無(wú)法完成定位操作。
3、因此，我們需要一種離子注入機(jī)，來(lái)解決離子注入機(jī)無(wú)法對(duì)透明片進(jìn)行定位的問(wèn)題，可以使離子注入機(jī)可以對(duì)透明片進(jìn)行定位。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)的目的是解決離子注入機(jī)無(wú)法對(duì)透明片進(jìn)行定位的問(wèn)題，為了解決上述問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N離子注入機(jī)，可以使離子注入機(jī)可以對(duì)透明片進(jìn)行定位。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)實(shí)施例采用以下技術(shù)方案：機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)上設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)臺(tái)，對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上設(shè)置有感光裝置，其特征在于，在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上設(shè)置有輔助定位裝置，輔助定位裝置包括：第一定位部，第一定位部為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)尺寸的缺口
3、在上述技術(shù)方案中，本申請(qǐng)實(shí)施例通過(guò)：設(shè)置輔助定位裝置，當(dāng)樣片的定位點(diǎn)在輔助定位裝置上旋轉(zhuǎn)至第一定位部，且定位在軟件調(diào)整模塊的感應(yīng)范圍內(nèi)時(shí)，感光裝置將信號(hào)傳遞至機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)將樣片取走，且第二定位部的存在，感光裝置不會(huì)感應(yīng)到輔助定位裝置的存在，可以往復(fù)生產(chǎn)，解決離子注入機(jī)無(wú)法對(duì)透明片進(jìn)行定位的問(wèn)題，可以使離子注入機(jī)可以對(duì)透明片進(jìn)行定位。
4、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，輔助定位裝置直徑大于樣片直徑1毫米。
5、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，第二定位部為一個(gè)寬大于20毫米長(zhǎng)大于30毫米的缺口。
6、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，第一定位部設(shè)置在第二定位部的對(duì)側(cè)。
7、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，固定裝置通過(guò)螺絲將輔助定位裝置進(jìn)行固定。
8、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，軟件調(diào)整模塊的初始設(shè)置角度為135度。
9、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，輔助定位裝置采用金屬制成。
10、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，輔助定位裝置中部設(shè)置有承接部。
11、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，承接部為凸起設(shè)置，用于承載樣片。
12、進(jìn)一步地，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例，其中，將輔助定位裝置固定在機(jī)臺(tái)的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上，確保第一定位部和第二定位部位于預(yù)設(shè)位置；
13、通過(guò)軟件調(diào)整模塊設(shè)置輔助定位裝置感應(yīng)范圍內(nèi)的初始范圍參數(shù)，將初始位置的角度設(shè)定為135度；
14、旋轉(zhuǎn)樣片使其定位點(diǎn)接近輔助定位裝置的第一定位部；
15、樣片旋轉(zhuǎn)至輔助定位裝置的第一定位部時(shí)，確保第一定位部的標(biāo)準(zhǔn)尺寸缺口與樣片的預(yù)設(shè)定位點(diǎn)匹配；
16、確認(rèn)樣片定位完成后，機(jī)臺(tái)根據(jù)感光裝置的反饋信號(hào)取走樣片，進(jìn)入后續(xù)加工步驟。
17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)具有以下有益效果：本申請(qǐng)通過(guò)設(shè)置輔助定位裝置，當(dāng)樣片的定位點(diǎn)在輔助定位裝置上旋轉(zhuǎn)至第一定位部，且定位在軟件調(diào)整模塊的感應(yīng)范圍內(nèi)時(shí)，感光裝置將信號(hào)傳遞至機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)將樣片取走，且第二定位部的存在，感光裝置不會(huì)感應(yīng)到輔助定位裝置的存在，可以往復(fù)生產(chǎn)，解決離子注入機(jī)無(wú)法對(duì)透明片進(jìn)行定位的問(wèn)題，可以使離子注入機(jī)可以對(duì)透明片進(jìn)行定位。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種離子注入機(jī)，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述輔助定位裝置直徑大于所述樣片直徑1毫米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述第二定位部為一個(gè)寬大于20毫米長(zhǎng)大于30毫米的缺口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述第一定位部設(shè)置在所述第二定位部的對(duì)側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述固定裝置通過(guò)螺絲將所述輔助定位裝置進(jìn)行固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述軟件調(diào)整模塊的初始設(shè)置角度為135度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述輔助定位裝置采用金屬制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述輔助定位裝置中部設(shè)置有承接部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述承接部為凸起設(shè)置，用于承載所述樣片。
10.一種離子注入機(jī)的使用方法，其特征在于，應(yīng)用于上述權(quán)利要求1-9中任一一項(xiàng)所述的一種離
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種離子注入機(jī)，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述輔助定位裝置直徑大于所述樣片直徑1毫米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述第二定位部為一個(gè)寬大于20毫米長(zhǎng)大于30毫米的缺口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述第一定位部設(shè)置在所述第二定位部的對(duì)側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)，其特征在于，所述固定裝置通過(guò)螺絲將所述輔助定位裝置進(jìn)行固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：欒廣慶，趙輝，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州賽森電子科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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