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本發明公開了一種對象面形信息確定方法、裝置、設備、介質及產品。該方法包括:獲取待測對象的干涉條紋圖,并確定干涉條紋圖的圖像描述信息;干涉條紋圖是基于至少兩束光波分別傳播到參考面和待測對象表面后所反射的光束相干涉后得到的;將干涉條紋圖、圖像描...該專利屬于廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院所有,僅供學習研究參考,未經過廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院授權不得商用。
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本發明公開了一種對象面形信息確定方法、裝置、設備、介質及產品。該方法包括:獲取待測對象的干涉條紋圖,并確定干涉條紋圖的圖像描述信息;干涉條紋圖是基于至少兩束光波分別傳播到參考面和待測對象表面后所反射的光束相干涉后得到的;將干涉條紋圖、圖像描...